カーボンフェルト部品向け精製炉『Carbon.Pure』
黒鉛およびCFC部品の真空精製に特化した高品質のシステムをご紹介！
『Carbon.Pure』は、黒鉛、CFC(炭素繊維強化炭素)、カーボンフェルト 部品向けの精製炉です。 半導体や化合物半導体の製造では、炉内部材から混入する微量の金属不純物が結晶品質や歩留まりに大きく影響します。当社の Carbon.Pureは、グラファイトやカーボンフェルトなどの炭素系部材を高温環境で精製し、不純物濃度を効果的に低減します。処理温度、雰囲気、保持時間を精密に制御することで、部材ごとに安定した純度と再現性を確保します。真空・不活性雰囲気に対応した設計により、部材の酸化を抑えながら処理を行えます。お客様の部材仕様と目標純度に合わせて、最適な処理条件をご提案いたします。 【特長】 ■超高純度：不純物レベル 3ppm未満 ■優れた製造品質：厳格な管理による長寿命 ■最大限の稼働時間 ■グローバルなサービスチーム：世界中でのサポートとアップグレード ■モジュラー設計・柔軟性：お客様のプロセスに合わせて調整可能 ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【モジュラー式システムオプション】 ■ガス用湿式スクラバー：反応性ガスを中和するため、反応炉用の適合するスクラバーシステムを提供 ■冷却水用チラー：現場に冷却水供給設備がない場合に使用 ■プロセスガスボンベ保管設備 ■UL対応仕様：UL認証が必要なお客様向けにUL規格に準拠して製造 ■個別のRALカラー：フレーム、配管、容器をお客様指定の色で仕上げ ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
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取り扱い会社
半導体製造、結晶成長、真空・プラズマ処理、非破壊材料評価の各分野で、先端材料の開発・製造・分析を可能にするシステムを設計・製造しています。 Material Solutions（マテリアルソリューションズ）: 半導体製造、結晶成長、真空・プラズマ処理に関連するシステムを提供。 Metrology Systems（メトロロジーシステムズ）: 精密で非破壊の材料評価・計測システムを提供。 ドイツに本社を置きながら米国、カナダ、中国、日本、シンガポール、韓国など複数の国々と、いくつかの欧州諸国に子会社を持っています。現地の顧客に寄り添う体制と、グループ全体の技術力を組み合わせて事業を展開しています。 主な顧客業界 ●半導体 ●エレクトロニクス ●エネルギー ●宇宙航空 ●材料科学 ●医療 など多岐にわたりフルカスタマイズ可能な装置をお客様へ提供しています。