気相分解　ウェハ表面測定装置『WSMS Integra HT』

自動気相分解(VPD)、ウェハ表面の微量金属汚染を、自動で、再現性高く分析。

最終更新日 2026年10月20日

走査型赤外線平面偏光解消計『SIRD SiC 200』

見えない応力を、非接触で可視化。ベアウェハの品質を次工程へ

最終更新日 2026年10月20日

プラズマ表面処理の自動化ソリューション

「表面を、次の工程に最適な状態へ。」 半導体製造のプラズマ表面処理で、高品質なプロセスを実現します。

最終更新日 2026年10月20日

カーボンフェルト部品向け精製炉『Carbon.Pure』

黒鉛およびCFC部品の真空精製に特化した高品質のシステムをご紹介！

最終更新日 2026年10月20日

高性能VGF結晶成長装置『Kronos』

「高品質な結晶を、安定して育てる。」 垂直温度勾配凝固法（VGF）で、半導体基板の品質と歩留まりを支えます。

最終更新日 2026年10月20日