プラズマ表面処理の自動化ソリューション
「表面を、次の工程に最適な状態へ。」 半導体製造のプラズマ表面処理で、高品質なプロセスを実現します。
当社では、さまざまな搬送アーキテクチャに統合できるよう設計された プラズマシステムを提供しております。 半導体デバイスの微細化と高機能化が進むなか、ウエハー表面の状態はプロセス品質を大きく左右します。当社のプラズマ表面処理技術は、有機物や微粒子の除去、表面の活性化、濡れ性・接着性の改善を精密に制御し、成膜、接合、めっきなどの後工程に最適な表面を提供します。プラズマ条件の安定性と処理の均一性を重視し、量産環境での再現性と高いスループットを両立させました。お客様のプロセス要件に合わせて最適な処理条件をご提案し、歩留まり向上と生産性の改善を支援します。 主な特徴 ●精密な表面制御：有機物除去、活性化、改質を目的に応じて調整 ●高い処理均一性：ウエハー全面で安定した結果を実現 ●再現性と量産適合性：安定した連続稼働を前提とした設計 ●プロセス適合のご提案：お客様の材料・工程に合わせた条件設定を支援 プラズマ表面処理装置にご興味がありましたら当社へお気軽にご相談ください。 ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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半導体製造、結晶成長、真空・プラズマ処理、非破壊材料評価の各分野で、先端材料の開発・製造・分析を可能にするシステムを設計・製造しています。 Material Solutions（マテリアルソリューションズ）: 半導体製造、結晶成長、真空・プラズマ処理に関連するシステムを提供。 Metrology Systems（メトロロジーシステムズ）: 精密で非破壊の材料評価・計測システムを提供。 ドイツに本社を置きながら米国、カナダ、中国、日本、シンガポール、韓国など複数の国々と、いくつかの欧州諸国に子会社を持っています。現地の顧客に寄り添う体制と、グループ全体の技術力を組み合わせて事業を展開しています。 主な顧客業界 ●半導体 ●エレクトロニクス ●エネルギー ●宇宙航空 ●材料科学 ●医療 など多岐にわたりフルカスタマイズ可能な装置をお客様へ提供しています。