気相分解 ウェハ表面測定装置『WSMS Integra HT』
自動気相分解(VPD)、ウェハ表面の微量金属汚染を、自動で、再現性高く分析。
『WSMS Integra HT』は、超微量レベルの汚染をインラインで信頼性高く、 完全自動で検出するために設計されたウェーハ表面測定システムです。 1台のファブ対応プラットフォームで、シリコンウェーハ表面の金属汚染を 超微量レベルで検出・定量。 気相分解(Vapor Phase Decomposition, VPD)と誘導結合プラズマ 質量分析(ICP-MS)を組み合わせた、完全自動・インラインのシステムです。 【特長】 ■完全自動化されたVPDプロセス ■モジュール式でスケーラブルなプラットフォーム ■高スループット・アーキテクチャ ■後段の ICP-MS などによる微量金属分析と組み合わせて使用できます ■監査対応の検証済み結果 ■認証済みでファブ導入可能 ■定期的な表面汚染モニタリングにより、プロセス異常の早期検知を支援します ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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半導体製造、結晶成長、真空・プラズマ処理、非破壊材料評価の各分野で、先端材料の開発・製造・分析を可能にするシステムを設計・製造しています。 Material Solutions（マテリアルソリューションズ）: 半導体製造、結晶成長、真空・プラズマ処理に関連するシステムを提供。 Metrology Systems（メトロロジーシステムズ）: 精密で非破壊の材料評価・計測システムを提供。 ドイツに本社を置きながら米国、カナダ、中国、日本、シンガポール、韓国など複数の国々と、いくつかの欧州諸国に子会社を持っています。現地の顧客に寄り添う体制と、グループ全体の技術力を組み合わせて事業を展開しています。 主な顧客業界 ●半導体 ●エレクトロニクス ●エネルギー ●宇宙航空 ●材料科学 ●医療 など多岐にわたりフルカスタマイズ可能な装置をお客様へ提供しています。