走査型赤外線平面偏光解消計『SIRD SiC 200』

見えない応力を、非接触で可視化。ベアウェハの品質を次工程へ

最終更新日 2026年10月20日

気相分解　ウェハ表面測定装置『WSMS Integra HT』

自動気相分解(VPD)、ウェハ表面の微量金属汚染を、自動で、再現性高く分析。

最終更新日 2026年10月20日