高性能VGF結晶成長装置『Kronos』
「高品質な結晶を、安定して育てる。」 垂直温度勾配凝固法（VGF）で、半導体基板の品質と歩留まりを支えます。
『Kronos』は、最高級品質のInP、GaASなどの単結晶を成長させるための高性能VGF (垂直温度勾配凍結法)システムです。 VGFプロセスでは、多結晶原料を下から上へ方向性をもって凝固させます。 その際、精密に制御された温度勾配と、単結晶の方位を決定する 種結晶によって導かれます。 高性能デバイスの基盤となる半導体基板には、結晶欠陥の少なさと組成の均一性が求められます。当社の VGF 結晶成長技術は、炉内の温度分布と冷却速度を精密に制御し、垂直方向の温度勾配のもとで融液を安定して固化させます。これにより、転位密度の低減と均一な特性を備えた単結晶の育成を実現します。再現性の高い温度プロファイルと安定した長時間運転により、基板メーカー様の量産要件に対応します。 【特長】 ●低転位・高品質な結晶：温度勾配の精密制御により結晶欠陥を抑制 ●均一な結晶特性：ウエハー面内および結晶全体での安定した品質 ●再現性と量産適合性：安定した温度プロファイルと長時間運転に対応 ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【寸法】 ■高さ：約 3,800 mm(温度プロファイル測定ユニットを除く) ■幅：約 1,920 mm ■奥行き：約 3,000 mm ■重量：約 6,000 kg ■推奨天井高：最低 5,000 mm(上部チャンバー蓋の取り外しのため) ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
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半導体製造、結晶成長、真空・プラズマ処理、非破壊材料評価の各分野で、先端材料の開発・製造・分析を可能にするシステムを設計・製造しています。 Material Solutions（マテリアルソリューションズ）: 半導体製造、結晶成長、真空・プラズマ処理に関連するシステムを提供。 Metrology Systems（メトロロジーシステムズ）: 精密で非破壊の材料評価・計測システムを提供。 ドイツに本社を置きながら米国、カナダ、中国、日本、シンガポール、韓国など複数の国々と、いくつかの欧州諸国に子会社を持っています。現地の顧客に寄り添う体制と、グループ全体の技術力を組み合わせて事業を展開しています。 主な顧客業界 ●半導体 ●エレクトロニクス ●エネルギー ●宇宙航空 ●材料科学 ●医療 など多岐にわたりフルカスタマイズ可能な装置をお客様へ提供しています。