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結晶成長装置について
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高性能VGF結晶成長装置『Kronos』
「高品質な結晶を、安定して育てる。」 垂直温度勾配凝固法(VGF)で、半導体基板の品質と歩留まりを支えます。
最終更新日 2026年10月20日