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量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』
サイズは4inと8inをご用意！〇型□型試料に対応した高い汎用性を有しております
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ムラビューワー
ナノクラスの微細な変化も見逃さない！半自動で欠陥を判別して可視化することが可能
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UVナノインプリントステッパー
2～8インチウェハ対応！デバイス製作に必要な高精度アライメントを備えています！
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ウェハ・エッジビューワー『SIM-2300EG』
録画機能搭載！貼合せ、バックグラインド、トリミングなど様々なウェハに対応
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カスタマイズ対応検査装置『SIM 3000』
300mm×300mmサイズなどの大型ワークに対応！カスタマイズ可能なベースモデル
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スプレーコーター
立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応！水や低粘度液体から高粘度液体まで微細化
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アライメントシステム『Cuty-Aligner-Man』
各種アプリケーションにも対応！面倒な設計を解決し、そのまま簡単に手動操作できます
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パラレルリンク型バリ取り仕上げシステム『Bari-motion』
【サンプルテスト実施中】安全柵・安全操作教育不要！小型軽量設計で作業台やデスクに設置可能！初期設定も簡単なバリ取り仕上げシステム
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『前後工程構築も可能』QRグリッド式潜り込み型（低床型）AGV
狭い通路でも利用可能なQRグリッド式AGV ピッキングやパレタイズなどの前後工程構築も可能です【800kg、1000kg可搬】
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潜り込み型（低床型）AGVシステム『狭い通路対応で省スペース』
走行精度が高く、狭い通路でも利用可能なQRグリッド式AGVです。 複数台対応で搬送能力を最大化【800kg、1000kg可搬】
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【実機サンプルテスト有】パレタイジングシステム【～30kg可搬】
上位との連携によりシステム拡張可能なパレタイズパッケージです。 AGV/AMRや通信連携・品種識別などの連携が可能です。
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超ローコスト パレタイジングシステム【～20kg可搬】
スイッチで簡単に日常的な操作が可能 ロボットに不慣れな現場オペレーターの方にもお使いいただけるようわかりやすい操作・表示です
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タッチパネル搭載パレタイジングシステム【～30kg可搬】
12インチの大画面タッチパネル搭載で多品種ワークに対応・ハンド切り替え可能なパレタイズシステムです。
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【多品種に対応】簡単操作パレタイジングシステム～30kg可搬
スマートペンダントとパレタイズ専用ソフトで簡単操作可能 対話形式で積み付けパターンを簡単作成・新規パターンの作成が可能
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【完全ティーチレス】3Dランダムピッキングロボット
シーンに応じて認識・動作・把持を自律的に判断し制御 独自技術を多数搭載した3Dロボットピッキングです ＊パレタイズも可能
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【業界最速クラス】3Dランダムピッキングロボット
最適な経路計算により自動でロボットの最大速度性能を引き出しタクトタイム・サイクルタイムの短縮に貢献いたします
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【超小型IP65相当の高耐久性】3Dランダムピッキングロボット
最高レベルの防塵防水性能を持つことを実証済 オイルミストが舞う加工現場や粉塵の舞う鍛造・鋳造の現場でも使用可能
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パラレルリンク・アクチュエータ『PRMシリーズ』
コンセプトは「ダレデモ」！生産状況の変化に即応した体制の構築が可能
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PECプロセス装置
シンプル構造で低価格を実現！GaNウェハ低ダメージエッチング装置をご紹介
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ポイントテーブル機能でプログラミング簡単「ステッピングサーボ」
ステッピングモーターにエンコーダを取り付けサーボモーター並みの精度に引き上げたステッピングサーボです。 上位不要で単体動作可能
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【短納期・ローコスト・超小型アンプ】高機能ステッピングサーボ
2相ステッピングモーターにインクリメンタルエンコーダを取り付けサーボモーター並みの精度に引き上げた超小型ステッピングサーボです
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【無料貸出有】ハンチングレスのステッピングサーボ
ステッピングモーターにエンコーダを取り付けサーボモーター並みの精度に引き上げたステッピングサーボです。 検査機での使用実績多数
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『パレット保管システム』パレット式自動倉庫 モバイルロボット
ラック内を3次元移動するロボットを利用してパレットの高密度保管を実現 独自の郡制御アルゴリズムで一括制御された保管システムです
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