露光装置　※MEMS等両面デバイス開発・製造を支援！

MEMSデバイスの研究開発から少ロット・多品種、量産まで対応可能な露光装置/マスクアライナーをラインアップ！

最終更新日 2025年07月28日

三明MEMS【露光装置/マスクアライナー/ローコスト（低価格）】

研究開発から、少LOT多品種、量産まで対応する「手動・半自動・全自動」のローコストな露光装置/マスクアライナーをご提案！

最終更新日 2024年11月07日

無軌道AGV＋人協働ロボットで24時間連続運転「自動化・少人化」

ワイヤレス給電による24時間連続運転で工場内の自動化を進めませんか？磁気テープ不要のライダースラム方式マッピングでレイアウト変更

最終更新日 2025年07月09日

マニュアル両面マスクアライナー『BA100/160/200』

露光光源照度分布は±5％以内！デスクトップ型と自立型のモデルをラインアップ

最終更新日 2025年07月25日

半自動露光装置『半自動マスクアライナー』

4inと8inサイズをご用意！アライメント露光が可能な多品種量産用半自動露光装置！

最終更新日 2025年07月25日

量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』

サイズは4inと8inをご用意！〇型□型試料に対応した高い汎用性を有しております

最終更新日 2025年07月25日

ムラビューワー

ナノクラスの微細な変化も見逃さない！半自動で欠陥を判別して可視化することが可能

最終更新日 2023年06月14日

UVナノインプリントステッパー

2～8インチウェハ対応！デバイス製作に必要な高精度アライメントを備えています！

最終更新日 2023年02月08日

ウェハ・エッジビューワー『SIM-2300EG』

録画機能搭載！貼合せ、バックグラインド、トリミングなど様々なウェハに対応

最終更新日 2023年02月06日

カスタマイズ対応検査装置『SIM 3000』

300mm×300mmサイズなどの大型ワークに対応！カスタマイズ可能なベースモデル

最終更新日 2023年02月06日

スプレーコーター

立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応！水や低粘度液体から高粘度液体まで微細化

最終更新日 2023年08月03日

アライメントシステム『Cuty-Aligner-Man』

各種アプリケーションにも対応！面倒な設計を解決し、そのまま簡単に手動操作できます

最終更新日 2023年02月08日

バリ取り仕上げシステム「パラレルリンク型バリ取りロボット」

【サンプルテスト実施中】安全柵・安全操作教育不要！小型軽量設計で作業台やデスクに設置可能！初期設定も簡単なバリ取り仕上げシステム

最終更新日 2025年07月09日

低床型AGV『800kg/1000kg可搬』前後工程構築可

狭い通路でも利用可能なQRグリッド式AGV　　ピッキングやパレタイズなどの前後工程構築も可能です【800kg、1000kg可搬】

最終更新日 2025年07月09日

潜り込み型（低床型）AGVシステム『狭い通路対応で省スペース』

走行精度が高く、狭い通路でも利用可能なQRグリッド式AGVです。 複数台対応で搬送能力を最大化【800kg、1000kg可搬】

最終更新日 2025年07月09日

人協働ロボットパレタイズシステム【実機サンプルテスト有】

上位との連携によりシステム拡張可能なパレタイズパッケージです。 AGV/AMRや通信連携・品種識別などの連携が可能です。

最終更新日 2025年07月09日

パレタイジングシステム【人協働ロボットパレタイズ】20kg可搬

スイッチで簡単に日常的な操作が可能 ロボットに不慣れな現場オペレーターの方にもお使いいただけるようわかりやすい操作・表示です

最終更新日 2025年07月09日

人協働ロボットパレタイジングシステム【30kg可搬】タッチパネル

12インチの大画面タッチパネル搭載で多品種ワークに対応・ハンド切り替え可能なパレタイズシステムです。

最終更新日 2025年07月09日

【多品種対応】人協働ロボットパレタイジングシステム30kg可搬

パレタイズ専用ソフトとスマートペンダントで簡単操作可能 対話形式で積み付けパターンを簡単作成・新規パターンの作成が可能

最終更新日 2025年07月09日

【完全ティーチレス】3Dランダムピッキングロボット

シーンに応じて認識・動作・把持を自律的に判断し制御 独自技術を多数搭載した3Dロボットピッキングです ＊パレタイズも可能

最終更新日 2025年07月09日

3Dランダムピッキングロボット【業界最速クラス】3Dピッキング

最適な経路計算により自動でロボットの最大速度性能を引き出しタクトタイム・サイクルタイムの短縮に貢献いたします

最終更新日 2025年07月09日

3Dランダムピッキングロボット【超小型IP65相当の高耐久性】

最高レベルの防塵防水性能を持つことを実証済 オイルミストが舞う加工現場や粉塵の舞う鍛造・鋳造の現場でも使用可能

最終更新日 2025年07月09日

パラレルリンク・アクチュエータ『PRMシリーズ』

コンセプトは「ダレデモ」！生産状況の変化に即応した体制の構築が可能

最終更新日 2023年02月08日

PECプロセス装置

シンプル構造で低価格を実現！GaNウェハ低ダメージエッチング装置をご紹介

最終更新日 2023年03月03日

ポイントテーブル機能でプログラミング簡単「ステッピングサーボ」

ステッピングモーターにエンコーダを取り付けサーボモーター並みの精度に引き上げたステッピングサーボです。 上位不要で単体動作可能

最終更新日 2025年07月09日

ステッピングサーボ【短納期・ローコスト・超小型アンプ】

2相ステッピングモーターにインクリメンタルエンコーダを取り付けサーボモーター並みの精度に引き上げた超小型ステッピングサーボです

最終更新日 2025年07月09日

ハンチングレスステッピングサーボ【無料貸出有】ステッピングモータ

ステッピングモーターにエンコーダを取り付けサーボモーター並みの精度に引き上げたステッピングサーボです。 検査機での使用実績多数

最終更新日 2025年07月09日

『パレット保管システム』パレット式自動倉庫　モバイルロボット

ラック内を3次元移動するロボットを利用してパレットの高密度保管を実現 独自の郡制御アルゴリズムで一括制御された保管システムです

最終更新日 2025年07月09日