デスクトップクイックコーター「SC-701MkII」

SEM用試料の前処理用として最適！シリーズ最小のコンパクトコーターです。

「SC-701MkII」は、シリーズ最小のコンパクトコーターです。デバイスの電極膜付けにも使用可能で、シンプル＆イージーオペレーションです。イオンダメージを軽減する間欠スパッタ機能を標準搭載。試料ブロックを用いて簡単にT-S間距離を変更できます。 SEM用試料の前処理用として最適です。【特長】 ○シリーズ最小のコンパクトコーター ○低価格／小型軽量タイプ ○熱ダメージ防止用間欠コート機能付詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

基本情報

【仕様】 ○ターゲットサイズ：49ｍｍ dia.／ Au×1 ○試料台サイズ：50ｍｍ dia.（T-S間調節範囲 - 20、30、40ｍｍ） ○排気操作：手動式 ○スパッタ方式：DCスパッタ／平行平板型 ○高圧電源：1.2kV／0～9.9mA ○到達圧力：5Pa ○チャンバーサイズ：90(dia.)×90(depth)ｍｍ（SUS製） ○タイマー：0～15min（最長30min） ○ガス導入機構：ニードルバルブ　導入口径外径φ6mm　ワンタッチ継手 ○排気装置：直結型ロータリーポンプ　20L／min（自動リーク付） ○設置電源：単相 AC100V±10％　50/60Hz　7A ○寸法・重量 →本体：160(W)×326(D)×286(H)mm、10kg →RP：295.5(W)×156(D)×199.5(H)mm、9kg ○オプションターゲット：Ag、Pt、Pd、Au-Pd、Pt-Pd ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

価格情報

お問い合わせください

価格帯

50万円 ~ 100万円

納期

応相談

お問い合わせください

用途／実績例

【用途・実績例】 ○各種デバイスの電極膜付け ○反射薄膜作製用途　等 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

カタログ（1）

カタログをまとめてダウンロード

シリーズ最小のコンパクトコーター SC-701Mk II

製品カタログ

このカタログにお問い合わせ

取り扱い会社

サンユー電子株式会社

特設サイト公式サイト

電話番号・住所

経営理念は、「コア技術で研究開発の未来を切り拓く」こと。研究／開発に携わる方々が、実験において必要とするものを必要なときに提供させていただくことをモットーとし、“装置の機能拡張性を高める”とともに、“多彩なオプション”をご用意しております。また、“フットワークの軽さ”を武器に、お客様の様々なニーズにお応えできるよう、日々努めております。

製品・サービス一覧 (19)