スパッタ装置
スパッタ装置
■RF/DCスパッタ装置 絶縁薄膜、酸化薄膜、金属薄膜生成や多層の薄膜作製に対応する、機能拡張性に優れた実験研究用RF/DCスパッタ装置です。 ■導電薄膜作製用コンパクトスパッタ装置 Desk Top Quick Coater SC Series 各種金属の薄膜作製がコンパクトで使いやすい装置で手軽に行なえます。
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コンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」
ターゲットは3種類同時に装着可能！多層膜を作製することが可能です。
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コンパクトコーター SVC-700TMSG/Adexcel
小型成膜装置！ターゲットは3種類同時に装着可能です。
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研究・開発実験用 RFスパッタ装置
実験目的にあわせたカスタマイズが可能。小型RFスパッタ装置
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多種金属対応！業界最小クラスの超コンパクトコーターです。
Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコーター！
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8インチスパッタコーター SC-708シリーズ
大型サンプルの全面コーティングに最適なイオンコーターです。4～8インチまでの各モデルを用意しております。
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研究・開発実験用 RFスパッタ装置
実験目的に合わせたカスタマイズが可能。小型RFスパッタ装置
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多種金属対応 プログラマブルスパッタコーター
Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコーター！
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手軽に電極膜作製 デスクトップコンパクトコーター
45年以上のロングセラーモデル 手軽に電極膜作製ができるデスクトップタイプ コンパクトDCスパッタ
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全自動イオンコーター SC-701AT
SEM用試料作製に適した全自動イオンコーター
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マグネトロンスパッタコーター SC-701MC
イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用 フルオートマチックスパッタコーター
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サンユー電子 真空応用機器／電子顕微鏡関連機器製品総合カタログ
スパッタ装置、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器のサンユー電子
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TMPタイプ 真空蒸着装置
簡単操作のTMP排気システム採用！拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸着装置
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電子顕微鏡試料作製用装置 SC-701Mk II ECO
シンプルを追求したコーター ボタン1つで簡単に操作できます
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デスクトップRFスパッタ装置『SVC-700RFIII』
コンパクトな卓上サイズで3源のカソードを搭載。絶縁薄膜、酸化物・窒化物薄膜の作製も可能
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