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マルチコンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」は、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属ターゲットをスパッタし、試料表面に薄膜を作製する小型の成膜装置です。 ターゲットは3種類同時に装着可能であるため、真空中においてターゲットを選択でき、多層膜を作製することが可能です。 【特長】 ○オプションとして膜厚センサー、試料加熱ユニットなども取付けられる構造 ○抵抗加熱式真空蒸着装置としても使用が可能 →排気装置上部を抵抗加熱ユニットに交換し、専用電源を接続 詳しくはお問い合わせください。

【基本仕様（抜粋）】 ○放電形態：直流マグネトロン ○放電制御：定電流 30mA ○圧力制御：ニードルバルブによる手動制御 ○プロセス時間：最大15min/タイマー制御 ○プロセスガス：Ar（導入圧力 0.1MPa以下） ○プロセスガス導入口：φ6mmワンタッチ継手（シンフレックスチューブ用） ○ターゲットサイズ：φ49mm、t0.5mm（最大） ○ターゲット装着数：3種類 ○適用可能ターゲット →Au、Pt、Au-Pd、Pt-Pd、Ag、Pd、W、Ni、Mo、Cr、Ti、Al、Cu、Fe ○試料サイズ：最大φ50mm ○試料選択：ステージ回転式 ○ターゲット／試料間(TS)距離：20mm、30mm、40mm ○ターゲット選択：シャッター方式 ○給電方式：単独給電切替式（電源パネル操作） ○排気系：ターボ分子ポンプ(TMP) 67L/s(N2)、油回転ポンプ(RP) 20L/min ○到達真空度：1×10⁻³Pa以下 ○真空度測定：コンビネーション型真空計（電離真空計+ピラニー真空計） ●詳しくはお問い合わせください。

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