マグネトロンスパッタコーター SC-701MC
イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用 フルオートマチックスパッタコーター
基本情報
【仕様】 〇ターゲットサイズ:φ49mm 〇適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Ag 〇試料サイズ:φ50mm(Max) 〇排気操作:自動 〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付) 〇スパッタ方式:DCマグネトロン/平行平板型 〇寸法(W/D/H):225/420/320mm
価格情報
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価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
応相談
型番・ブランド名
QUICK COOL COATER SC-701MC
用途/実績例
【用途】 ○電極用スパッタ薄膜の作成用途 ○反射膜作製用途 〇SEM用試料の前処理 etc.
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