デスクトップ全自動コーター

走査電子顕微鏡用試料作製に最適！　試料作製の煩わしさを解消します。

「SC-701AT」は、全自動コーターです。排気操作完全自動式で、膜厚制御連動式です。走査電子顕微鏡用試料作製に最適で、デバイスの電極膜付けにも使用できます。【特長】 ○電子顕微鏡用試料を全自動で手軽に作製 ○プリセット方式により、膜厚のコントロール（簡易型）が可能 ○前処理装置だからこその簡単操作/高い再現性詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

基本情報

【仕様】 ○ターゲットサイズ：φ49ｍｍ ○試料台サイズ：φ70ｍｍ（高さ調節範囲 - 15／20／60ｍｍ） ○排気操作：全自動 ○スパッタ方式：DCスパッタ／平行平板型 ○膜厚設定方式：オートプリセット方式（デジタル表示膜厚モニター付） ○高圧電源：1kV／0～20mA ○到達圧力：10Pa ○チャンバーサイズ：120(dia.)×120(depth)ｍｍ（ステンレス製） ○ガス導入機構：ニードルバルブ ○排気装置：直結型ロータリーポンプ　20L／min（自動リーク付） ○設置電源：単相 AC100V±10％　50/60Hz　10A ○寸法・重量 →本体：225(W)×420(D)×320(H)mm、15kg →RP：300(W)×160(D)×200(H)mm、9kg ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

価格情報

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価格帯

100万円 ~ 500万円

納期

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型番・ブランド名

QUICK AUTO COATER SC-701AT

用途／実績例

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全自動イオンコーター　SC-701AT

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取り扱い会社

サンユー電子株式会社

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