【分級技術】 分級後 オン品粒子を画像解析 『要注意 粗粒子』
湿式分級装置 S-100W-Dによる 分級精度を確認 分級後 篩上に補足したオン品粒子径を画像解析
■ 粒径分布で表示しない微量の 【隠れ粗粒子】 の把握は粒子製造で 極めて重要ある ■ 【隠れ粗粒子】 は下記の様な場所からの混入が想定される ・ 分級装置から同一材料の粗粒子・結合粒子‥等の混入 ・ 分級装置周辺からの別材料粗粒子が混入 工程管理 ・ 製造工程の不特定場所場所からダスト等‥の混入 ■ Φ５μｍスーパーマイクロシーブ取付け 分級後のオン品を解析 個数レベルで粗粒子は確実に補足されている 高精度分級をしてない場合 添付資料上段のような粗粒子が製品に 混在してる可能性が考えられる 最大粗粒子は φ10.8μｍ
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6-3
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