表面改質のための「微細レジストパターン」一括形成技術［電機大］
多様な表面形状へ、広範囲・高速・安価に、マイクロパターンを一括形成することが可能です。
表面改質による機能性付与では、 高エネルギーレーザーや機械加工によって、被加工物表面に微細なパターンを形成する技術があります。 これらは、精度の高いパターンを製作することができるメリットはありますが、 装置が高価であり、立体的なものへの加工は難易度が高いという課題を抱えています。 本技術では、スペックルという光の特性をリソグラフィーに応用することで、 簡便安価に立体物へ微細パターンを形成することが可能となります。 新技術の特徴 ・スペックル光を利用した微細加工技術 ・部品表面に微細な点状ランダムレジストパターンを形成（数～数100μｍ程度） ・円筒部品の円周方向表面に一括でパターンを形成可能 ・段差のある部品の表面に一括でパターンを形成可能（数10mmの段差面） 本技術で形成されたレジストパターンによって、被加工物表面への機能性付与が期待されます。 （撥水性、親水性、防汚性、潤滑性、反射防止、抗菌性、生体適合性の向上 など）
基本情報
本技術は東京電機大学の研究成果です。 大学技術との連携による製品開発のご要望がございましたら、お気軽にお問合せください。 本技術に関する知的財産権 特願2022-131915「露光装置」 特願2022-019713「内面露光装置」 他
価格帯
納期
用途／実績例
想定される用途 ・撥水性の付与 マイクロピペット先端部、医療用メス、金型部品など ・生体適合性の向上 インプラント材料など ・オイル潤滑性の向上 加工機、内燃機関など
