暗視野光学系が微小異物・傷を逃さない。解像せずミー散乱光を捉える独自技術で、12インチウエハをわずか7秒で全面検査。

半導体ウエハ上の微小異物検査に特化したマクロ検査モジュールです。 高解像度カメラでは視界が狭く時間を要する検査を、スミックス独自の「異物検査専用・暗視野光学系」で劇的に高速化します。 【主な特長】 ■0.2μmレベルの微小異物（PSL）を確実に可視化 ※0.1μm開発中 ■ミー散乱光の検出により、解像に頼らず異物を特定 ■12インチウエハを最短7秒でスキャンする圧倒的タクトタイム ■超低ノイズラインセンサカメラによる高S/N比の実現 従来の検査装置では「感度を上げると時間がかかる」のが常識でしたが、本モジュールは「高感度と超高速」を両立。 業界標準機と比較して約4倍の検査スピードを誇ります。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※実機での評価依頼を受付中。1回目のサンプル評価は無償にて承ります。

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