ウエハ異物検査モジュール｜0.2μm異物をマクロで高速検出

暗視野光学系が微小異物・傷を逃さない。解像せずミー散乱光を捉える独自技術で、12インチウエハをわずか7秒で全面検査。

最終更新日 2026年05月12日

マクロ検査装置｜ウエハの異物・膜ムラ・欠陥を高速一括検知

12インチウエハを7秒で撮像。解像せず欠陥を捉える独自光学系で、検査タクトを業界標準の1/4に短縮し全数検査を実現。

最終更新日 2026年05月12日

異物・キズ・膜ムラを全面全数で高速可視化するマクロ検査

検査・評価事例集を無料進呈。散乱光や反射光で凹凸やムラも可視化し、製造工程の歩留まり改善を支援

最終更新日 2026年10月22日