ウエハ異物検査モジュール｜0.2μm異物をマクロで高速検出

暗視野光学系が微小異物・傷を逃さない。解像せずミー散乱光を捉える独自技術で、12インチウエハをわずか7秒で全面検査。

最終更新日 2026年05月12日

マクロ検査装置｜ウエハの異物・膜ムラ・欠陥を高速一括検知

12インチウエハを7秒で撮像。解像せず欠陥を捉える独自光学系で、検査タクトを業界標準の1/4に短縮し全数検査を実現。

最終更新日 2026年05月12日