異物・キズ・膜ムラを全面全数で高速可視化するマクロ検査
検査・評価事例集を無料進呈。散乱光や反射光で凹凸やムラも可視化し、製造工程の歩留まり改善を支援
スミックスは、半導体ウェハやガラス、金属薄膜、樹脂フィルムなどの 異物・キズに加え、膜ムラも高速で可視化する「マクロ検査技術」を提供しています。 散乱光や反射光を利用して、材料表面の微細な異物・欠陥から 膜厚ムラなどの外観異常までを捉え、全面全数検査を実現。 製造工程の歩留まりに異常の把握を支援し、品質管理の効率化や歩留まり改善に貢献します。 【検査・欠陥・可視化項目（抜粋）】 ■パーティクル ■付着物・汚れ ■レジスト残り・加工残渣 ■キズ ■ピンホール ■突起 ■微小凹凸（表面粗さ・結晶欠陥） ■クラック ■チッピング ■ボイド ■デラミネーション（剥離） ■バリ ■白濁・ヘイズ ■色ムラ ■輝度ムラ ■膜ムラ ■塗布ムラ ■膜厚ムラ ■パターンの異常・欠陥（欠け、ショート、オープン、ライン幅異常） ※＜カタログをダウンロード＞より、事例集と当社技術の紹介資料をご覧いただけます。 ※無償評価を受付中です。お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【対象材料・ワーク】 ■半導体ウェハ シリコン（Si）、炭化ケイ素（SiC）、窒化ガリウム（GaN）、ガリウム砒素（GaAs）、 リン化インジウム（InP）、サファイア ■ガラス・透明体 石英ガラス、無アルカリガラス、ディスプレイガラス、薄板ガラス、ITO（透明導電膜） ■金属・セラミック 多結晶アルミナ、焼結体、金属（Al、Cu、Ni、Cr、Ti、SUS）、金属薄膜（蒸着膜・スパッタ膜） ■無機薄膜 酸化膜（SiO2、Cr2O3）、窒化膜（SiN、AlN）、透明コーティング膜、誘電体多層膜（AR膜） ■有機膜・樹脂・フィルム 樹脂（PET、PI、PC、PMMA、エポキシ）、フォトレジスト、光学フィルム、機能性フィルム、保護フィルム ■その他 蓄電材料（ABF）、ペロブスカイト 【こんなお悩みに】 ◎全数検査により歩留まりを改善したい ◎製造工程で発生する膜ムラを可視化したい ◎異物やキズの検査にかかる時間を短縮したい ◎多様な材料や膜の外観異常を検査したい ※＜カタログをダウンロード＞より、事例集と当社技術の紹介資料をご覧いただけます。
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用途／実績例
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