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『FVシリーズ』『ALD7Cシリーズ』

真空断熱メタル・ホースや原子層蒸着用バルブをご提案!デバイスの歩留まりや品質向上に貢献する流体システム製品。

『FVシリーズ』『ALD7Cシリーズ』は、流体システムの安全なオペレーションの維持を実現する流体システム製品です。 当製品は、完全焼きなまし処理によりホースの取り回しが容易で、真空ポートを排除した真空断熱層や多層断熱材により放射熱に対応。独自の製造工程により、熱損失や結露の防止による効率性と安全性の向上を実現します。また、250°Cまでの高温環境に対応し、Alloy 22製で優れた耐食性と耐久性を誇るほか、交換可能なカートリッジ構造により現場での流量調整が可能です。プリカーサー・ガスの課題解決に貢献します。 【特長】 ■歩留まりや品質の向上、ライフサイクル・コストの削減を実現 ■完全焼きなまし処理によりホースの取り回しが容易 ■250°Cまでの高温環境に対応 ■Alloy 22製で優れた耐食性と耐久性 ■交換可能なカートリッジ構造により現場での流量調整が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

関連リンク - https://www.japan.swagelok.com/

基本情報

【仕様】 ■250°Cまでの高温環境に対応 ■Alloy 22製で優れた耐食性と耐久性 ■交換可能なカートリッジ構造により、現場での流量調整が可能 ■完全焼きなまし処理により、ホースの取り回しが容易 ■真空劣化につながる真空ポートを排除 ■多層断熱材により放射熱にも対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

価格帯

納期

用途/実績例

【用途】 ■半導体製造 ■原子層蒸着(ALD) ■流体システムのオペレーション ■プリカーサー・ガス関連処理 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

真空断熱を含むホース&原子蒸着プロセス用バルブ

その他資料

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取り扱い会社

スウェージロック社は、流体システム・ソリューション(製品、アセンブリー、サービス)の開発および提案を行っています。コンポーネント製品やサービスは、お客さまのビジネスに有益であると共に、ハイリスクな環境下で働く人々に対しても安全性をもたらします。この安全性を重視することは、スウェージロックの責務であると考えています。スウェージロックは、発電、オイル/ガス、化学、バイオ製薬、研究開発、半導体製造やその他多数の業界において使用される流体システムに必須の精密配管部品(チューブ継手、バルブ、レギュレーター、ホースやその他)を製造しています。現在、200ヵ所を超えるスウェージロック指定販売会社のグローバル・ネットワークが、製品を使用するお客さまをサポートしています。