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【半導体製造工程】薬液の管理に適した高性能シリンジポンプ

流路システムの設計や装置への導入をシンプルにする薄型・高性能シリンジポンプ

様々なバルブ仕様を持ったハイパフォーマンスなコンパクトタイプ組込み用シリンジポンプです。様々なシリンジを搭載でき、優れた正確性と再現性を実現。医療や科学分野の分析装置やファクトリーオートメーション、陽圧または真空下での密閉チューブサンプリングにとどまらず、微量かつ均一な液体制御を求められる半導体製造工程にもぜひお使いいただきたいポンプです。

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基本情報

■ 5 μl 以下~ 5 mlまでの液体の吸引、希釈、吐出に最適 ■ 様々なバルブオプションをご用意 ■ ガラスシリンジオプション:50 μl、100 μl、250 μl、500 μl、1 ml、2.5 ml ■ 分解能:3,000 ステップ(マイクロステップモード時:24,000 ステップ) ■ ガラスシリンジ接液部材料オプション:PTFE、UHMWPE ■ 寸法:127(H)×46(W)×114(D)×mm ■ 分注精度:0.05% CV/FS ■ インターフェース:RS232、RS485 または CAN BUS

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型番・ブランド名

Cavro XCalibur(カブロ エクスカリバー)

用途/実績例

■ 医療や科学分野の分析装置 ■ ファクトリーオートメーション ■ 陽圧または真空下での密閉チューブサンプリング ■ 半導体製造工程における薬液の管理(塗布、洗浄、エッチングなど)

超小型軽量の高性能シリンジポンプ エクスカリバー

製品カタログ

超微量~大容量対応、超低速~高速の高精度液体分注を可能にする信頼のCavroブランド ポンプ&分注モジュールの総合カタログ

総合カタログ

Cavro(R) XCalibur シリンジポンプ 【導入事例】

技術資料・事例集

【導入事例】液体分注ロボットOmniFlexとXCaliburポンプのCDスペクトロメーターサンプル自動調装置での活用

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取り扱い会社

Tecan は1980 年にスイスで設立されたライフサイエンス研究支援機器の製造・開発を手がける会社です。多くのお客様に支えていただき、日本においては2022 年に創立30 周年を迎えることができました。 テカンジャパンは、2 つのビジネスを展開しております。 エンドユーザーの皆さまに自動分注機やマイクロプレートリーダー等のテカンブランドの製品をお届けするライフサイエンス・ビジネスと、パートナー企業にお使いいただくコンポーネントや機器をOEM 製品としてお届けするパートナリング・ビジネスです。 お客様は、疾患研究、ドラッグディスカバリー、バイオテクノロジー関連をはじめ、臨床検査(がん診断、感染症診断、検査センター等)、科学分析、ロボティックサージェリー分野に至るまで多岐にわたります。 私どもの意義、人々の暮らしと健康をよりよくすること ー テカンジャパンは、お客様の日々の活動をサポートすることを通じ、ライフサイエンス業界から診療所に至るまで、ヘルスケアイノベーションが世界規模となっていくことに貢献することを目指します。