半導体業界
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当社は、半導体業界、特に半導体製造装置用シールの開発に力を注いでおります。 近年は主に、既設エラストマーOリングから弊社メタルシールへの 更新に取り組んでおります(振動がある除害装置のポンプ配管用や ボルト穴変更が出来ないヘリウムリークが求められる既設フランジ用)。
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超高真空や高温NW・KFフランジ用クランプ QDS
超高真空用NW・KFフランジ、専用ヘリコ&デルタ、専用クランプのセット! QDS:クイックディスコネクトシステム
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【半導体業界向け】ゴムOリングからばね入りCリングへ置換HNRV
既設のボルトのサイズ・数は変更不要?半導体製造装置で『真空のゴムOリング ガス透過やガス放出を無くしたい』などお困りの方必見!
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ゴムOリングからばね入りCリングへ置換!『デルタベータHNRV』
『真空のゴムOリング ガス透過やガス放出を無くしたい』 デルタベータHNRVなら可能です。
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過酷環境向けメタルシール
加速器をはじめ、航空宇宙、核融合炉など過酷な環境で使用されています!
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半導体分野向け低設計締付圧力Y『超高真空用デルタシール』
デルタシール(HNV HELICOFLEX(R)DELTA) は、超高真空を実現します!【JIS V溝フランジ用標準化済み】
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メタルシール採用事例:半導体製造用化学物質キャニスター
樹脂製やエラストマー製のシール材質が使えない物質に朗報!メタルシールを採用しヘリウムリークタイトを実現
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