製品サービス
製品・サービス
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カセット／キャリア洗浄装置(1)
ウェハーカセット、キャリア等の精密洗浄を行う、コンパクトな洗浄装置
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フォトマスク洗浄装置(2)
フォトマスクの精密両面スクラブ洗浄装置。 数インチレベルからPDP用ラージサイズまで対応。
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簡易型マスク洗浄装置(1)
スクラブ洗浄＆リンスとHot純水乾燥の2槽式簡易型マスク洗浄装置。14インチマスク対応（オプションで薬液洗浄可）
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全自動マスク洗浄装置TWC-200A(1)
レジストとパーティクルを同時に除去する専用薬液対応のCassette to Cassette全自動マスク洗浄装置。
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簡易洗浄ユニット(1)
最大7インチマスクサイズまで対応できる簡易洗浄ユニット。
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UV(紫外線)オゾン洗浄装置(1)
UV照射によりワーク表面の有機物汚染除去、表面改質を実施。精密洗浄、ファイナル洗浄等に最適。
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超純水用ヒーター(QHシリーズ)(1)
接液部に高純度石英および、PTFE（テフロン）を採用した超純水加熱用ヒーター
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ドライエアー用ヒーター(SHシリーズ)(1)
不活性ガス・クリーンドライエアー加熱用ヒーター。流体通路はオールステンレス電解研磨処理を採用
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テープマウンター(7)
ウェハー/テープ/ダイシングフレームを気泡なしで素早く貼付ける装置
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ウェハーエキスパンダー(3)
ダイシング後、チップ間隔を任意の幅で均一に拡張し、チップハンドリングを容易にします。
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UV硬化装置／UV照射装置(5)
UV硬化型ダイシングフィルムの硬化用UV照射装置
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グリップリング(2)
テープやシートをピンと張った（拡張した）ままの状態で保持（グリップ）するダブルリングです。
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洗浄装置関連(7)
半導体製造プロセスの前工程において使用する洗浄装置を中心とした製品群のご紹介 ◆FOUP洗浄装置 ◆SMIF&カセット洗浄装置 ◆フォトマスク洗浄装置 縦型コンパクトタイプ ◆フォトマスク洗浄装置 PDP・大判用フォトマスク対応装置 ◆新型マスク洗浄装置 TWC-300 ◆紫外線オゾン洗浄装置 ◆スーパークリーンヒーター
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後工程組立(15)
半導体製造プロセスの後工程において使用する組立装置製品群のご紹介 ◆多機能・フィルム貼り付け装置（ウェーハーマウンター） ◆ウェーハーエキスパンダー ◆UVフィルム硬化装置 高圧水銀ランプ仕様 ◆UVフィルム硬化装置 ブラックライト仕様 ◆UVフィルム硬化装置 LED光源仕様 ◆グリップリング
