テルモセラ・ジャパン株式会社 本社 公式サイト

◉ nanoETCH ソフトエッチング装置

□■□MiniLabシリーズ実験装置□■□

◉ 【MiniLab-026】小型真空蒸着装置

◉ 【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置

◉ 【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置

◉ 【MiniLab-090】フレキシブル薄膜実験装置

【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

□■□薄膜実験装置（コンパクトタイプ）□■□

◉ nanoPVD-S10A マグネトロンスパッタリング装置

◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置

◆ANNEAL◆ ウエハーアニール装置

◉ nanoCVD-8G/8N グラフェン/CNT合成装置

◉ Nanofurnace "BWS-NANO" 熱CVD装置

◇◆成膜コンポーネント◆◇

□■□超高温小型実験炉シリーズ□■□

◉ Mini-BENCH超高温小型卓上実験炉 Max2200℃

◉ TCF-C500 超高温小型実験炉Max2900℃

● MiniLab-WCF超高温ウエハーアニール炉2200℃

◆◇◆ R&D用小型縦型実験炉 TVF-110 ◆◇◆

□■□基板加熱ヒーター□■□

◉ BHシリーズ基板加熱ヒーター Max 1600℃

◉ SHシリーズ基板加熱ヒーター Max 1100℃

◉ ホットステージ「基板加熱機構」Max 1800℃

◆HTEヒーター◆ 高真空るつぼ加熱ヒーター Max1500℃

□■□温度センサー□■□

□■□赤外線温度計測機器□■□

◉ 小型・高精度赤外線放射温度センサー

◉ USB接続式・放射率可変 高温用赤外線放射温度センサー

◉ 本質安全防爆型赤外線放射温度センサー

◉ スマートホン設定式赤外線放射温度センサー