APIX δQ & APIX Quattroガスアナライザー
連続的なバルクガス分析によって、半導体製造プロセスのQA/QCで 求められる純度基準を保証
APIX δQおよびAPIX Quattroガスアナライザーは、大気圧イオン化質量分析法（API-MS）を用い、1本または複数の超高純度（UHP）ガス配管へ接続し、即時かつ連続的な分析を実現します。 API-MS技術では、大気圧で維持される反応室内でサンプルガスをイオン化し、質量分析計で正イオン・負イオンを高精度に検出します。このプロセスによりイオン化効率を最大化しつつバックグラウンドノイズを低減することで、極めて優れた検出感度を発揮します。 本システムは10～50pptレベルという極微量の不純物も特定でき、半導体製造など厳しい品質管理が求められる分野におけるUHPガスの連続モニタリングに最適です。 さらにクロマトグラフィーと比べても優れた柔軟性を備え、水分・酸素・二酸化炭素・一酸化炭素・メタンなど多種多様な不純物の即時測定が可能です。
基本情報
・ 分析時間：<1 秒 (成分あたり) ・ バルクガス適合性：H2、N2、Ar、He (dB モデルの場合は O2 も) ・ 検出ノイズ：100MHz (パルス計数タイプ) ・ ヘルツ100MHz (パルス計数タイプ) ・ モニターされる不純物：HO2、CO、CO2、H2O、O2、CH2、Kr、Xe (他の不純物も利用可能) ・ イオン源バックグラウンド：<1ppt ・ 測定法：APIMS dB:トリプルフィルター x 1、APIMS Quattro:トリプルフィルター x 4 ・ 連続接続：RS232 Serial Port ・ 検出限界： <10ppt (成分により異なる) ・ 検出器タイプ：パルス計数チャネル電子倍増管 ・ イオン源タイプ：大気圧イオン化
価格帯
納期
型番・ブランド名
Thermo Scientific
用途／実績例
半導体製造プロセスのQA/QCにおける、超高純度ガスのモニタリング 推奨対象: UHP 窒素 UHP アルゴン UHP ヘリウム UHP 水素
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