【半導体ウェーハ向け】超音波メガソニック洗浄装置
ウェーハの微細な汚れを徹底除去。ソノシスが実現する高品質洗浄。
半導体業界、特にウェーハ製造においては、微細な異物の除去が製品の品質を左右する重要な課題です。ウェーハ表面に付着した微細なパーティクルや有機物は、デバイスの性能低下や歩留まりの悪化を引き起こす可能性があります。当社の超音波メガソニック洗浄装置は、これらの課題に対し、メガソニック技術を用いてウェーハ表面の汚れを効果的に除去します。これにより、高品質な半導体製品の製造を支援します。 【活用シーン】 ・ウェーハ製造工程における洗浄 ・微細な異物や有機物の除去 ・高品質な半導体製品の製造 【導入の効果】 ・洗浄品質の向上 ・歩留まりの改善 ・製品の信頼性向上
基本情報
【特長】 ・メガソニックノズルによる高効率洗浄 ・400kHzから9MHzまでの幅広い周波数対応 ・浸水型トランスデューサーによる柔軟な対応 ・バス・タンク式洗浄による費用対効果の向上 ・ステンレス製またはプラスチック製トランスデューサー 【当社の強み】 ティックコーポレーションは、お客様のニーズに応える製品を提供することをモットーに、幅広い製品を取り扱っています。超音波洗浄装置だけでなく、関連する様々な製品も提供可能です。
価格帯
納期
型番・ブランド名
Sonosys（ソノシス）
用途／実績例
半導体用ウェーハ、フォトマスク、MEMSなどの洗浄
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取り扱い会社
ティックコーポレーションは、生産効率の改善・経費効率の向上・品質の向上・環境保全への配慮など企業が直面する諸問題の解決に寄与する製品を提供することをモットーに広く世界から製品情報を収集し、市場のニーズに応える製品を提供してまいりました。 今後も合理化に寄与する製品や近年特に厳しくなっている環境保全に寄与する製品を開発し、お届けできるよう努力してゆく所存です。 ◇◆主な取扱商品◇◆ ・精密工業用スプレーノズル ・農業用スプレーノズル ・エアーノズル / エアーナイフ ・特殊スプレーノズル ・タンク洗浄ノズル ・ブロワー ・超音波スプレーノズル（ネブライザー / アトマイザー） ・超音波洗浄装置 ・空気搬送装置 ・ベンチレーター ・プラスチックコネクター ・切断火口（ガスカッター用ノズル） ・ラテックス テスター ・チュービングポンプ（ディスペンサー） ・シリンジポンプ