低ガス放出の真空構造材『0.2％BeCu』

ウルトラクリーンを創造！製造工程、分析工程に革新をもたらします

最終更新日 2024年09月05日

受託サービス：デバイスの質量ガス分析

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。封止デバイス内部や接合ウェハー界面のガス分析を行います。

最終更新日 2024年03月11日

0.2%BeCu （0.2%ベリリウム銅合金）

アウトガスを抑制する全く新しい真空構造材、0.2%BeCu （0.2%ベリリウム銅合金）でウルトラクリーンを造り出す！

最終更新日 2023年06月07日

　非蒸発型ゲッターポンプ　マジックNEG

残留水素でお悩みの方に！

最終更新日 2023年04月05日

デバイスの残留ガス分析【受託分析サービス】

当社のラボにてサンプルをお預かりしてデバイスの残留ガスの受託分析サービスを行います。

最終更新日 2023年04月05日

【ウェビナーご招待】デバイスの質量ガス分析

極微少量の「残留ガス」検知で半導体チップや車載センサの劣化防止｜超高性能「質量ガス分析装置」とは、業界動向・事例を紹介

最終更新日 2023年04月05日

受託サービス：質量ガス分析＜分析システムの解説付き資料進呈＞

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。極微小リークも検出

最終更新日 2022年09月07日

極微小リークの計測方法でお困りで はありませんか？

答えはこちら！極微小リーク検査のソリューションと事例をご紹介！

最終更新日 2023年04月05日

真空チャンバーの内壁からのガス 放出でお困りではありませんか？

答えはこちら！真空チャンバーのガス放出に対するソリューションと事例をご紹介！

最終更新日 2023年04月05日

質量分析で過度の水素ピークが出てしまいお困りではありませんか？

答えはこちら！質量分析のソリューションと事例をご紹介！

最終更新日 2023年04月05日

極微小リーク分析

極微小リーク量の測定が求められる自動車用のMEMSセンサーデバイスをご紹介！

最終更新日 2023年04月05日

低ガス放出・低温化を実現する 0.2%BeCu合金技術資料

従来の常識を破る真空構造材 0.2%BeCu合金 低ガス放出・低温化を実現！ステンレススチールの代替えに。

最終更新日 2023年04月05日

多様な質量分析を可能にする東京電子のラインナップ

極微量ガス分析から大気圧サンプリングまで、単体での計測からシステムアップした分析装置として、高性能なモデルをそろえた質量分析計！

最終更新日 2023年04月05日

差動排気型 質量分析計『Transpector CPM』

あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計（ガス分析計）、複合プロセスのIn-Situ モニターリングに最適！

最終更新日 2023年04月05日

真空チャンバー内壁からのガス放出を大幅低減！新しい「真空構造材」

0.2％BeCu合金製で低ガス放出化を実現！ステンレススチールの代替えに。

最終更新日 2022年09月07日

極高真空(XHV)製品『魔法のニップル／キューブ／チャンバー』

0.2％BeCu合金製で低ガス放出化を実現

最終更新日 2023年04月05日

超高感度 質量分析装置　WATMASS－MPH DAシステム

【新発想の質量分析法】MEMSやライフサイエンスデバイス、半導体などの封止デバイス内の超微量リーク検査に！

最終更新日 2023年04月05日

極高真空計『3B-Gauge』

X線限界10-12Paの高精度イオンゲージヘッド！極高真空計

最終更新日 2023年04月05日

超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』

低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅低減！一般的な四重極残留ガス分析計での計測が難しいXHVガス分析が可能！

最終更新日 2022年05月26日

高性能残留ガス分析計『Transpector MPH』

新設計のセンサによるMTBFの向上とランニングコストの削減を実現！

最終更新日 2023年04月05日

四重極型質量分析計『Transpector MPS&MPH』

業界最高クラスのデータ収集速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現！

最終更新日 2023年04月05日

『魔法のニップル』

0.2% BeCu合金製材料の特性を活かしたアイディア商品をご紹介！

最終更新日 2023年04月05日

真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（ICF70）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディスプレイ一体型の真空計。コンパクトで設置スペースも節減！

最終更新日 2023年04月05日

B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ　IG-10（NW25）』

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計です。16種類のガスに対応し、金属製センサーも使用！

最終更新日 2023年04月05日

B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ　IG-10（ICF70）』

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計です。16種類のガスに対応し、金属製センサーも使用！

最終更新日 2023年04月05日

電源装置『高電圧半導体スイッチ』

スイッチング素子としてSiC-MOSFETを採用し、電力損失を大幅低減

最終更新日 2023年04月05日

真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（NW25）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディスプレイ一体型の真空計

最終更新日 2023年04月05日

ピラニ真空計　PG-20

小型なボディで装置組込みの省スペース化！

最終更新日 2023年04月05日

コールドカソードゲージ コントローラ　CG-20

堅牢な冷陰極型電離真空計

最終更新日 2023年04月05日

マイクロ真空計

高真空の計測が可能なマイクロ真空計

最終更新日 2023年04月05日