株式会社巴川コーポレーション 公式サイト

TOMOEGAWAの通気性ヒーターがニコンの半導体露光装置に採用　― 精密な温度制御を実現―

株式会社巴川コーポレーション

株式会社巴川コーポレーションが開発した通気性ヒーター部品「iCas MCT」が、株式会社ニコンの半導体露光装置に採用されました。本装置は、2026年12月より販売される予定です。 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　 半導体露光装置には、複雑かつ微細な電子回路パターンをシリコンウェハ上に高い精度で形成すると同時に、生産性やエネルギー効率の向上に貢献する技術が求められます。わずかな温度変動でもパターンの精度に影響を及ぼすため、露光装置内部はmK（ミリケルビン）単位の高精度かつ高速な温度制御が不可欠です。 通気性ヒーター部品「iCas MCT」は、半導体露光装置に今回初めて採用されました。 「iCas MCT」は、紙状・多孔質構造の「ステンレス繊維シート」を発熱体として用いたヒーター部品です。ヒーター部品自体に通気性を持たせ、加熱面に対して垂直方向に空気を通過させ効果的に加熱することで熱容量を抑えつつ、高い温度応答性および昇温性能を実現。また、部品の小型化・軽量化ならびに半導体露光装置の高性能化に貢献しています。