自動機搭載用静電チャック『ティンハンド』
静電チャックサポーター
ハンディタイプ静電チャック「ソフトパーム」
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しわや傷発生がない！多孔質材のような穴開き品吸着も可能な静電吸着ツール
最終更新日 2026年03月23日
厚みが薄く、ウェハー吸着保持した状態でキャリアに挿入可能！
薄型化するウェハー、ガラス基板、金属箔、フィルムなどの搬送に最適！従来の真空吸着式の持つ対象物への局所ストレスを解消！
最終更新日 2026年04月01日
