ハンディタイプ静電チャック「ソフトパーム」
薄型化するウェハー、ガラス基板、金属箔、フィルムなどの搬送に最適！従来の真空吸着式の持つ対象物への局所ストレスを解消！
『ソフトパーム』は、クーロン力にて対象物を接触吸着し、ハンドリング するハンディタイプの静電チャックです。本製品は面吸着のため、薄い部材に対して局所的ストレスがかからないのが最大の特長です。また、電池駆動（充電可）のコードレスタイプと、専用コントローラー駆動セミコードレスタイプがございます。 【特長】 ■コードレスの為どこでも携帯可能 ■凸凹面のある対象物も吸着可能 ■電位は最小に抑えられる為、裏面のゴミ吸着はなし ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
基本情報
【吸着部ラインアップ】 ■4inch用 ■6inch用 ■8inch用 特注対応もかのうです ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
