検査装置向け静電吸着ステージ
フィルム・金属箔・紙など薄物部材 多孔質材料の固定に好適な検査ステージ！ 吸着痕対策 機種替えフリー対応が可能です。
当社で取り扱っている「検査装置向け静電吸着ステージ」について、 ご紹介いたします。 表面黒色対応にて、画像処理やレーザー検査向けとして利用可能。 面吸着のため、薄い部材に対して局所的ストレスがかかりません。 多孔質材、フィルム材、金属箔、紙など薄物部材の固定に 好適な検査ステージとなっております。 【特長】 ■面吸着のため、薄い部材に対して局所的ストレスがかからない ■表面黒色対応にて、画像処理、レーザーを用いた検査機の ステージとして利用可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【仕様(一部)】 ■対象物の材質：導体～絶縁体 ■平面度：R 30um以下 ■面粗さ：10um以下 ■静電チャック表面：黒ポリイミド ■垂直保持力：導体・半導体 40gf/cm2(印可電圧 ±1kV時) ■印加電圧：±1.0kV 可変可能(±0.7/1.0/1.4kV) 出荷時固定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■多孔質材の固定 ■フィルム材の固定 ■金属箔の固定 ■紙など薄物部材の固定 ■画像処理検査機のステージ ■レーザーを用いた検査機のステージ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
