定盤、研磨パッド形状が崩れる原因を知っていますか？
キズ・平行度悪化・レート低下を防ぐために、まず形状変化を確認
両面ラップ・ポリッシュ加工では、加工を続けるうちに定盤や研磨パッドが摩耗し、形状が変化していきます。ワーク配置、荷重、回転方向や速度の偏りによって摩耗量が変わるため、凸形状・凹形状・船底形状・カモメ形状などに崩れる場合があります。形状変化を放置すると、キズ、平行度悪化、加工レート低下、歩留まり悪化につながることがあります。リンク先記事では、定盤・研磨パッド形状が崩れる原因と、安定した研磨加工に向けた定盤管理の考え方を解説しています。 【特長】 ■ 定盤・研磨パッド形状が崩れる原因を解説 ■ 両面ラップ・ポリッシュ加工のキズ対策に ■ 平行度悪化・レート低下・歩留まり悪化の原因確認に ■ 凸形状・凹形状・船底形状・カモメ形状を整理 ■ 定盤測定・修正を検討する前の基礎知識に ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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