ガラス基板の平坦度改善｜超精密研磨用パッド 『ベラトリックス』
平坦度が安定しない工程を見直したい方へ
ガラス基板の研磨で平坦度が安定しないことはありませんか。ファイナル工程では、装置やスラリーだけでなく研磨パッドの特性も仕上がりに影響します。ベラトリクスはガラス・石英用途で採用実績のあるスエードパッドです。用途や品番構成を資料でご確認いただけます。 主な用途 石英ガラス 合成石英 ブルーガラス シリコンウェハー 各種基板
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