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半導体材料の純度試験 微量元素分析の前処理装置

スパッタリングターゲット、CMPスラリーなど、微量不純物分析の前処理には適切な酸分解が必要です

Multiwave7000 ・加圧分解チャンバーを備えたことにより、限られたスペースで、強力にしかも簡単に分解を行います。これまで溶け残ってしまっていたサンプルの分析に最適です。 ・チラー内蔵でコンパクト ・スターラー使用可能なため、安定した反応を実現 ・金属(貴金属、金属酸化物含む)以外にセラミックス、樹脂など幅広く対応 ・「この装置で初めて溶液化できた!」という声を多くいただいております

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基本情報

・横幅:50 cm 高さ:47 cm 奥行:79 cm ・温度:最大300℃ 、 圧力:最大199bar、 出力:最大2000W ・最大サンプル数:28 CMPスラリー:研磨剤、酸化剤(酸化性物質)、キレート剤、腐食抑制剤 スパッタリングターゲット:アルミニウム、銅、ステンレス、タンタル、ニッケル

価格情報

1000万程度(仕様による)

納期

型番・ブランド名

Multiwave 7000 (マルチウェーブ ななせん)

用途/実績例

CMPスラリー:研磨剤、酸化剤(酸化性物質)、キレート剤、腐食抑制剤 スパッタリングターゲット:アルミニウム、銅、ステンレス、タンタル、ニッケル

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取り扱い会社

アントンパール社は、世界最高精度の振動式デジタル密度計を始め、粘度計、粘弾性測定装置(モジュラーレオメータ)、ゼータ電位測定装置、マイクロ波合成装置など様々な物性測定、分析機器の世界的メーカーです。 お客様の多岐にわたるご要望にお応えすべく、2009年2月日本法人を設立いたしました。 ショールームには、アントンパールの装置を豊富に展示しており、サンプル測定やデモンストレーションも可能です。 ユーザーセミナーや講師を招いてのアプリケーションセミナー、ウェビナーを随時開催しています。 固体、液体の物性測定や評価に関するご質問、お問い合わせ、デモ等ご要望がございましたら、ご遠慮なく、お問い合わせ下さい。

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