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ウエハエッジ外観自動検査機

ウエハエッジ外観自動検査機

ウエハエッジ外観自動検査機

傷・異物・チップ・クラックの欠陥自動検査機です。 搬送時間を含め１枚30秒の高速検査が可能なうえ、コンパクト・省電力設計で経済的です。