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【装置周辺設備設置工事実績】冷却チラー設置工事
チラー設置、配管施工、制御BOX、緊急停止時保護ユニットの製作・設置の実績！
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【装置周辺設備設置工事実績】ガス供給設備設置工事
ユーティリティ設備の事例！シリンダーキャビネット、ガスパネル、ガス配管、ガス検知器の製作・設置
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【装置周辺設備設置工事実績】クリーンブース設置工事
電線業界のクリーン環境設備の空気清浄度が確保されたブースの設置工事の事例！
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【製造実績】手動操作装置
半導体業界の真空乾燥工程にて、バルブ開閉などの手動操作をタッチパネルで操作できるようにした事例！
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【製造実績】分析装置用装置・加熱ヒータ制御BOX
装置・加熱ヒータの制御盤製作とPLCプログラム作成を行った事例！
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【製造実績】実験用真空チャンバー
プラント事業の容器内を真空状態にする設備を導入した事例！
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【製造実績】実験用高真空装置
高真空で表面処理する実験装置を研究機関の表面処理工程に導入した事例！
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【製造実績】立体物対応実験用プラズマCVD装置
表面処理工程に導入！真空チャンバーの材質は、ステンレス製で到達真空度が1Pa以下の製品の事例
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立体物対応実験用プラズマCVD装置
対応可能膜種はDLC、アモルファスSiC等！基板加熱機構付き（最高設定温度：500℃）
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実験用真空チャンバー
納入後のプロセスサポート、改造、メンテナンスまで対応！大気圧ピラニ真空計
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実験用高真空装置
納入後のプロセスサポート、改造、メンテナンスまで対応！ステンレス製真空装置
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セラミック製品
良好な電気絶縁特性を生かし、電気部品に応用可能な製品などを取り揃えております
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【レアメタル部品】モリブデン Mo/MoLa
高融点金属のなかでは優れた加工性！他元素を微量に添加させることにより特性の調整が可能
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【レアメタル部品】タングステン W/WAL
フィラメントやヒーター、坩堝などで利用！他元素を微量に添加させることにより特性の調整が可能
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真空装置 設計・製造サービス
実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて設計、製造します
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