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研究・開発用機器/超高真空機器
信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください
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電子ビーム蒸着装置
ヤシマの電子ビーム蒸着装置はすべてカスタムオーダー。ムダなく、将来の拡張性高く、シンプル。それで価格もリーズナブル。
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実験用小型真空蒸着装置
MAX10V-150Aのパワーと大容量のLN2トラップを備え迅速な試料の作成が可能。小型なので省スペース＆リーズナブルプライス。
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実験用スパッタ装置
簡易でありながらφ3インチターゲットのマグネトロンカソードと200L/sの広域型ターボ分子ポンプを搭載。
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電流導入端子
熱電対から高電圧・高電流の端子まで、真空導入用の電流端子を安価にて提供しています。
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ユニフォームプラズマスパッタ装置
均一性プラズマ閉じ込めによる高品質スパッタリング
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真空ビューポート(ガラス窓)
真空ビューポート(ガラス窓)
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