ウエハー自動洗浄装置 枚葉式自動洗浄装置 ディップタイプ
【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗浄装置です
本機はディップ型の枚葉処理機であり、ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を行います。 最終洗浄が終わったのち、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥を行う、カセットtoカセットの洗浄機です。 詳しくはお問い合わせ下さい。
基本情報
【特徴】 ○ディップ型の枚葉処理機 ○ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を実行 ○最終洗浄終了後、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥実行 ○カセットtoカセットの洗浄機 ○薬液の種類により材質の変更製作可 ○搬送スピードが高速な為、各種エッチング装置にも対応可(500mm/sec) ○枚葉式の為エッチングムラも少ない ○レジストの剥離などにも優れた洗浄能力を発揮 ○ワークサイズ：～□400mm、～φ12インチ ●詳しくはお問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
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