スピン洗浄装置 スピナー MSC-200型
小型コンパクト・オプションにて10,000rpmに可能！
ジャパンクリエイト株式会社のスピンナーは数あるスピンナーの中で性能、価格に重視し開発されている製品です。研究所、学校等に使用して頂く実験用のマニュアルスピンナーです。主にシリコンウェハー（ガリ砒素、ガラス、セラミック）等のレジストコーティングをはじめとして、現像装置、エッチング装置、剥離装置、スピン乾燥装置等の応用も可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
基本情報
【特徴】 ○小型コンパクト ○オプションにて10,000rpmに可能 ○膜厚が安定 【仕様】 ○ワークサイズ：φ30～100mm×t1mm（φ2"～φ4"） ○試料台：オプション ○カップ径・材料：φ200mm ○本体材質・寸法：SS＋焼き付け塗装 W250×D300×H250mm ○スピンモーター：スピードコントロールモーター 40W ○回転数：250～5,000rpm オプション 10,000rpm ○回転表示：アナログメーター ○回転数ステップ：2ステップ ○付帯設備 →電源：AC100V 500VA 50/60Hz ±10％以内 →真空：-50Kpa.10L/min以上 φ6mm 200torr以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
価格情報
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納期
用途／実績例
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