変位計測

0.3nmの分解能をもつ静電容量型非接触変位計と光ファイバー方式非接触変位計、測定ギャップの水や油に影響されず高速な微小変位の測定に最適な渦電流方式非接触変位計を取り扱っています。精密位置決め・隙間測定・芯ブレ計測・平面度測定、振動測定などにお使いいただけます。研究開発分野から半導体関連装置・電子機器への組み込みなど、ユニパルスの変位計測製品は応用性のある高性能ツールとして多くの実績を重ねています。