【圧力測定フィルム活用事例】ウェハ接合装置の熱圧着部
不具合が生じた際、実証的な測定情報を迅速かつ簡便に得ることができるようになった事例！
「プレスケール」を使用し、ウェハ接合装置の熱圧着部における 熱圧着時の圧力均一化をチェックした事例をご紹介します。 対象物にかかる圧力が圧着品質に大きな影響を与えます。 圧力が一定ではないと、封止性の不良や接合強度の不均一、 パターン幅の不均一が発生することがあります。 プレスケールを使用すれば、すばやく簡単に圧着面の状態が 確認できるので、原因究明と調整の時間と手間を削減できました。 【事例概要】 ■目的：熱圧着接合時の圧力均一化で、高い接合品質の確保 ■測定対象：ウェハ接合装置 熱圧着部 ■用途：熱圧着時の圧力均一化をチェック ■成果：不具合解析、不良品低減、コスト低減 ■課題：封止性の不良、接合強度の不均一、パターン幅の不均一 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【導入効果】 ■熱圧着ユニット設計業務の効率化 ■熱圧着の均一性のチェック ■不具合発生時の解析 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
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当社の計測フィルムソリューション事業部では、高温用プレスケール、 UVスケールなど様々な製品を取り揃えております。 目に見えなかった圧力と圧力分布を簡単に確認することができるフィルム 「プレスケール」や、熱分布を色の変化で簡単に判定できる画期的な熱分布 可視化フィルム「サーモスケール」をラインアップ。 また、富士フイルム製品の生産過程から生まれた、製造、検査・点検の 高精度化、効率化、安定化などをもたらす多彩で優れた検査・測定製品を 提供しています。