株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社 公式サイト

超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。

1. 供給圧力が変動に対して、制御流量は影響を受けません。 2. 応答時間が早い（0.5秒以下） 3. 優れた制度（標準タイプの場合で±1.0％S.P.以内） 4. MGMR（マルチガス・マルチレンジ）機能搭載 5. 取付姿勢の影響を受けません。 6. 流量自己診断機能を搭載 7. ガス種を選びません 8. RoHS対応

熱式流量センサ制御方式を採用した、流量制御機器です。

更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー 【特徴】 ○高精度 　流量精度±1％を実現 ○高性能センサ 　低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び 　安定性の低いガスに最適構造を実現 ○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止 　高速応答ピエゾアクチュエータを採用 　デットスペースフリー構造によるガス置換特性の大幅向上 　パーティクル発生 極少 ○デジタルインターフェース標準装備 RS485 ○RoHS対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

ガス流体を高精度コントロール！ガス種を選ばず、装置ユニットの自由度が高まる！

【その他の特長】 ■流量自己診断機能を搭載 ■ガス種を選ばない ■フローファクター（流量変換係数）の採用により、N2校正のFCSで 　様々なガス種に対応 ■RoHS対応 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

<ニューV-Series> 新しいコンセプトから生まれた、3ピースボールバルブです。

<仕様> 最高使用圧力(MPa):15.1 使用流体温度範囲(℃):-28～+232 要部材質:ステンレス鋼 接続方式:ねじ込み式/2圧縮リング方式 呼び径:8A～25A/6.35ｍｍ～25.4mm

<ニューV-Series> 新しいコンセプトから生まれた、トラニオン型ボールバルブです。

<仕様> 最高使用圧力(MPa):41.3/45.4～68.9 使用流体温度範囲(℃):-17～+232 要部材質:ステンレス鋼 接続方式:ねじ込み式/2圧縮リング方式 呼び径:8A/6.35mm～12mm

<ニューV-Series> 新しいコンセプトから生まれた、プラグバルブです。

<仕様> 最高使用圧力(MPa):20.6 使用流体温度範囲(℃):-23～+204 要部材質:ステンレス鋼 接続方式:ねじ込み式/2圧縮リング包方式

<ニューV-Series>新しいコンセプトから生まれた、リリーフバルブです。

<仕様> 最高使用圧力(MPa):41.3 使用流体温度範囲(℃):-4～+121/+148 要部材質:ステンレス鋼 接続方式:ねじ込み式/2圧縮リング方式 呼び径:8A～15A/6.35mm～12.7mm

<ニューV-Series>優れた性能、品質を有するチューブスコネクターです。

<仕様> 最高使用圧力(MPa):12～83.2 使用流体温度範囲(℃):-196～+537 要部材質:ステンレス鋼 接続方式:2圧縮リング方式 呼び径:1.6ｍｍ～25.4ｍｍ