株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社 公式サイト

水素ステーションに求められる未知の高圧領域を、フジキンの技術力が支えます。

取り扱いに十分な配慮が必要な液体水素を扱う水素ステーション等や さまざまな場面における幅広い仕様要求に対応できるバルブになります。

<FINE series PURE>超高純度用、超小型メタルガスケット式継手です。

<仕様> 最高使用圧力(MPa):21.5 使用流体温度範囲(℃):-196～+450 要部材質:ステンレス鋼 接続方式:ユニオンガスケット式 呼び径:3.2ｍｍ～12.7ｍｍ

超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。

1. 供給圧力が変動に対して、制御流量は影響を受けません。 2. 応答時間が早い（0.5秒以下） 3. 優れた制度（標準タイプの場合で±1.0％S.P.以内） 4. MGMR（マルチガス・マルチレンジ）機能搭載 5. 取付姿勢の影響を受けません。 6. 流量自己診断機能を搭載 7. ガス種を選びません 8. RoHS対応

熱式流量センサ制御方式を採用した、流量制御機器です。

更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー 【特徴】 ○高精度 　流量精度±1％を実現 ○高性能センサ 　低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び 　安定性の低いガスに最適構造を実現 ○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止 　高速応答ピエゾアクチュエータを採用 　デットスペースフリー構造によるガス置換特性の大幅向上 　パーティクル発生 極少 ○デジタルインターフェース標準装備 RS485 ○RoHS対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。