株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 公式サイト

バルブの開閉をセンシングします！

■半導体製造装置用　超小型IoTバルブ 超小型ダイヤフラムバルブに小型センサを搭載することで、 超小型IGS（集積化ガス供給システム）にてIoT化を実現し、 正確な開閉検知が可能になりました。 ・耐久性：400万回（実験値） ・使用温度：-10～＋80℃ ※2022年 第19回超モノづくり部品大賞 機械・ロボット部品賞 受賞製品！ ■高耐久IoTバルブ 高耐久バルブにセンサを搭載することで、 安定したセンシングが可能になりました。 ・耐久性：1億回（実験値） ・使用温度：-10～＋80℃ ■高温・高耐久IoTバルブ 高耐久バルブに高温対応センサを搭載することで、高温条件下においても 安定したセンシングが可能になりました。 ・耐久性：3,000万回（実験値） ・使用温度：-10～＋150℃

<FINE series PURE> 超高純度用、ダイレクトダイヤフラムバルブです。

<仕様> 最高使用圧力(MPa):1/20.5 使用流体温度範囲(℃):-10～+80/-10～+40 要部材質:ステンレス鋼 接続方式:ユニオン式/2圧縮リング方式/溶接式 呼び径:6.35ｍｍ～12.7ｍｍ

<FINE series PURE>超高純度用メタルガスケット式継手です。

<仕様> 最高使用圧力(MPa):10/16.2/21.5 使用流体温度範囲(℃):-196～+450 要部材質:ステンレス鋼 接続方式:ユニオンガスケット式 呼び径:3.2ｍｍ～19.05ｍｍ

<FINE series PURE>超高純度用、超小型メタルガスケット式継手です。

<仕様> 最高使用圧力(MPa):21.5 使用流体温度範囲(℃):-196～+450 要部材質:ステンレス鋼 接続方式:ユニオンガスケット式 呼び径:3.2ｍｍ～12.7ｍｍ

超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。

1. 供給圧力が変動に対して、制御流量は影響を受けません。 2. 応答時間が早い（0.5秒以下） 3. 優れた制度（標準タイプの場合で±1.0％S.P.以内） 4. MGMR（マルチガス・マルチレンジ）機能搭載 5. 取付姿勢の影響を受けません。 6. 流量自己診断機能を搭載 7. ガス種を選びません 8. RoHS対応

<V-Series>優れた性能、品質を有する2圧縮リング型式の継手です。

<仕様> 最高使用圧力(MPa):12～83.2 使用流体温度範囲(℃):-196～+537 要部材質:ステンレス鋼 接続方式:2圧縮リング方式 呼び径:1.6ｍｍ～25.4ｍｍ

<FINE series PURE>超高純度用、集積化ガスシステムです。

<IGSパネル完成の流れ> 1.IGS設計 2.部品選定・手配 3.ベースブロックの設定 4.上部機器取り付け 5.施工完了