小型電子部品専用気密検査装置｜MSX-0101 series
ボンビングによる充填、圧力変化確認によるグロスリーク、質量分析によるファインリーク、これらが１台で完結する複合気密検査装置です。
『 MSX-0101 series 』はMEMS、水晶デバイス、SMD等の電子部品の気密検査に最適な小型電子部品専用気密検査装置です。 ヘリウム充填、グロスリークテスト、ファインリークテストを1台のシステムに完全装備。 充填時間、放置時間を管理することで、適正なグロス、ファインリークを実施することができます。 【特長】 ■MEMS、SMD等の電子部品の漏れ検査に好適 ■充填時間、放置時間を管理しながらグロス、ファインリーク量を数値化 ■グロスリークテスト、ファインリークテストを1台で対応できる ■ボンビング条件とグロスリーク条件を適切に設定することにより、高い精度のファインリーク測定が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【測定の手順】 ■ヘリウムガスの充填 １．ボンビングチャンバにワークを挿入 ２．ボンビングスタートボタンにてボンビング開始 ３．ボンビングが終わったら、ワークを取り出す ■測定 ４．ワークをカプセルに挿入 ５．測定スタートボタンにて測定開始 ６．測定が終わったらワークを取り出す ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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この製品に関するニュース（9）
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エアリークテスタ【 FLA-0200 / FLA-0201 series 】マスタリング補正機能搭載で短時間でも高精度測定が可能
フクダの新しいフラッグシップモデル。 ・マスタレスタイプ（FLA-0200 series） ・汎用型（FLA-0201 series） の２機種のエアリークテスタを販売開始しました。 マスタリング補正機能搭載で短時間でも高精度測定が可能となっています。 ぜひカタログをご覧ください。
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ＰＦＡＳ規制対策！ フッ素系不活性液を使用しない、小型電子部品用の気密検査装置
●「 MSA-0101 series 」は液没検査による不安定な目視確認から、定量検査が可能で安定的な圧力漏れ試験法を採用した小型電子部品用気密検査装置です。 ●「 MSA-0101 series 」はグロスリーク専用の卓上気密検査装置で、フロリナート等のフッ素化合物による液没検査と同等以上の精度の圧力漏れ試験法によって安定した気密検査が出来ます。 ● 可検領域は 1×10⁻²Pa・m³/s ～ 1×10⁻⁶Pa・m³/s 程度（対象製品により異なります） ● 数ミリ角から、最大 80 × 70 mm までの密封構造製品が対象です。 この機会に是非お問合わせください！
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EV（電気自動車）のバッテリケース用のエアリークテスター【FLZ-0630 series】
EV（電気自動車）のバッテリケース用のエアリークテスターです。 バッテリケースには「大型で内容積が大きく、内部の加圧により変形が考えられるような構造」という特徴があります。このためエアリーク検査では「大型で容量が大きいことに起因するノイズ」と「内部を加圧することによる膨張や変形などに起因するノイズ」が発生します。このノイズを軽減させることを目的として、新開発のスムージング機能とリニアフィッティング補正機能を併用して測定しているのが本機の特徴です。 また制御が難しい低圧制御と大容積に対する流量拡大を実現するために、正確な圧力制御ができる電空レギュレータと大流量を供給するために有効径が大きい加圧弁を有したバイパス用のBOX（CBU-600）をご用意しています。 測定方式：ワーク・ワーク比較、ワーク・マスタ比較、固定マスタ比較 測定圧力範囲：10 kPa・20 kPa・50 kPa（仕様選択による） ゲージ圧センサ精度：±2 % F.S. 差圧センサ精度：±0.5 % F.S. グループ設定：0 ～ 31 グループ 電源電圧／消費電力：AC100 ～ 240 V / 100 VA
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ポータブル水素リークディテクタ 【 HDA-0100 series 】小型・軽量・バッテリー駆動のハンディタイプ。高感度・広範囲な ”水素測定”
株式会社フクダから発売中の【 HDA-0100 series 】は、 「ポータブル水素リークディテクタ」です。 ■小型軽量で持ち運びに便利（約 400 g・バッテリー含む） ■電池駆動でコードレス（連続使用時間 約８時間） ■高感度で広範囲（0.5 ppm ～ 5000 ppm ）な水素測定が ハンディタイプで可能 などの特長があります。 『 水素リークディテクタとは？ 』 エアリークテストでは測定できなかった小さな領域まで 漏れ測定が可能で、漏れ箇所の特定もできるテスタです。 トレーサーガスとして水素5％+窒素95％の工業用混合ガス （非可燃性ガス：ISO10156：2017）を使用します。 詳細につきましては下記のリンクより、 関連リンク・関連製品情報・関連カタログをご覧ください。
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装置搭載式 水素リークディテクタ【 HDZ-0201 】 水素ガスを使用する高感度な気密検査機 by 株式会社フクダ
【 HDZ-0201 】は装置搭載式の水素リークディテクタです。 被検査品（ワーク）全体からの総合的な漏れを測定する場合に使用します。 ・ワークをチャンバで覆い、ワーク内部にトレーサガスを充填し、漏れ出たガスをチャンバ内に堆積させ、漏れ出たガスを攪拌し、強制循環させ、水素ディテクタによりガス濃度を測定する【大気圧チャンバ法】 ・チャンバ内を真空にした後、チャンバに大気を導入し、水素ディテクタにガスを導くことで、高感度な測定が出来る【真空チャンバ法】 の２つがあります。 小型・軽量で装置に組込み易い設計。 加えて濃度分解能力は0.1 ppmまでの超高感度（設定条件や環境条件によります）。 検知原理：半導体式 検出感度：1×10⁻⁶ Pa･m³/s 相当（検査条件、測定環境による） 使用法：装置組込み型（装置搭載式専用） 分解能：0.1 ppm 電源電圧：DC 24 V 外観寸法：W 93 × D 91 × H 97 mm
取り扱い会社
【 各種漏れ試験に対応：エア/水素/ヘリウムリークテスト 】 気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売しています 検査対象ごとに適切なテスタ・装置をご提案いたします 【 対象業界と検査対象例 】 ・自動車業界：エンジン、FC部品、バルブ・配管、各種部品 ・電子部品業界：スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサ ・医薬品/食品/化粧品業界：ボトル容器、シリンジ、バイアル、点眼剤容器、ピロー包装、PTP包装 業界別に “最適なリークテスタ” をご提案いたします 【 ISO認証 】JIS Q 9001:2015（ISO 9001:2015）
