小型電子部品専用気密検査装置｜MUH-0100 series
小型電子部品の高感度リーク試験！ウルトラファインリークまでご提案【特許技術】
『MUH-0100シリーズ』は、「カプセル蓄積法」を採用した超微小漏れ測定専用の気密検査装置です。 当社では、超微小漏れの測定技術として、高感度のヘリウムリーク検出技術「カプセル蓄積法」を開発。 角速度センサや赤外線イメージセンサなどのMEMS部品や小型電子部品は、長い年月にわたって製品内部の密封性を保持する必要があり、高い気密性が求められています。 【カプセル蓄積法 特長】 ■4×10⁻¹⁵Pa・m³/s (He) まで計測可能 ■バックグラウンドを大幅に低減 ■超微小のヘリウムリークの検出が可能 ■誤差要因となるヘリウム以外のガスの影響を低減 ■ヒーターや極低温ポンプが不要になり、起動時間のメンテナンスが通常のヘリウムリークディテクタと同等 ■ヘリウムの蓄積量の校正には、市販の標準リークが使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【カプセルサイズ】 ■ φ16 × L10 mm（角10×10） ■ φ30 × L20 mm（角20×20） ■ φ44 × L31 mm（角30×30） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【検査対象例】 ■MEMS部品 （圧力センサ、加速度センサ、角速度センサ、赤外線イメージセンサ） ■電子部品 ■ハーメチックパッケージ ■水晶デバイス など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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この製品に関するニュース（1）
取り扱い会社
【 各種漏れ試験に対応：エアリークテスト / ガスリークテスト（水素ガス ・ ヘリウムガス） 】 気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売しています 検査対象ごとに適切なテスタ・装置をご提案いたします 【 対象業界と検査対象例 】 ・自動車業界：エンジン、FC部品、バルブ・配管、各種部品 ・電子部品業界：スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサ ・医薬品 / 食品 / 化粧品業界：ボトル容器、シリンジ、バイアル、点眼剤容器、ピロー包装、PTP包装 業界別に “最適なリークテスタ” をご提案いたします 【 ISO認証 】JIS Q 9001:2015（ISO 9001:2015）
