【半導体製造向け】パイロットレギュレータ｜P-200
微圧制御で半導体製造の品質向上をサポート
半導体製造業界では、製造プロセスにおける微細な圧力制御が製品の品質を左右します。特に、ウェーハ製造や各種コーティング工程においては、圧力のわずかな変動が製品の歩留まりや性能に大きな影響を与える可能性があります。パイロットレギュレータP-200は、微圧から低圧までの幅広い圧力範囲で、安定した圧力供給を実現し、半導体製造プロセスにおける品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハ製造工程での圧力制御 ・各種コーティング工程での圧力調整 ・微圧制御が必要な実験・研究 【導入の効果】 ・圧力の再現性向上による品質安定化 ・歩留まりの向上 ・微圧制御による高精度なプロセス管理
基本情報
【特長】 ・口径の大きいノズルフラッパ方法を採用し、安定性に優れています。 ・圧力の再現性に優れています。 ・微圧から低圧までの幅広い設定圧力幅。 ・定差圧（ΔＰ）制御も容易。 ・リリーフ構造により、正圧仕様は高感度リリーフバルブとして使用可能。 【当社の強み】 漏れ検査技術を基盤に、お客様のニーズに合わせた製品提案と、きめ細やかなサポートを提供します。
価格帯
納期
型番・ブランド名
レギュレーター 圧力 微圧 制御 減圧弁 テスト圧 流量 正圧 負圧 大気圧 漏れ
用途／実績例
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【 各種漏れ試験に対応：エアリークテスト / ガスリークテスト（水素ガス ・ ヘリウムガス） 】 気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売しています 検査対象ごとに適切なテスター・装置をご提案いたします 【 対象業界と検査対象例 】 ・自動車業界：エンジン、FC部品、バルブ・配管、各種部品 ・電子部品業界：スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサ ・医薬品 / 食品 / 化粧品業界：ボトル容器、シリンジ、バイアル、点眼剤容器、ピロー包装、PTP包装 業界別に最適なリークテスターをご提案いたします 【 ISO認証 】JIS Q 9001:2015（ISO 9001:2015） 本社住所：東京都練馬区貫井三丁目１６番５号（〒176-0021） 電話番号：03-3577-1111（代表）