【半導体向け】ウルトラファインリークテストシステム｜MUH
小型電子部品の微細漏れを検出！高感度リーク試験
半導体業界では、製品の長期的な信頼性を確保するために、微細な漏れの検出が重要です。特に、MEMS部品や小型電子部品においては、製品内部の密封性を維持し、外部からの影響を防ぐことが求められます。微細な漏れは、製品の性能劣化や故障の原因となり、歩留まりの低下につながる可能性があります。MUH-0100シリーズは、4×10⁻¹⁵Pa・m³/s (He) まで計測可能な「カプセル蓄積法」を採用し、超微小のヘリウムリークを検出することで、半導体製品の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・角速度センサ、赤外線イメージセンサなどのMEMS部品 ・小型電子部品 【導入の効果】 ・製品の信頼性向上 ・歩留まりの改善 ・品質管理の強化
基本情報
【特長】 ・4×10⁻¹⁵Pa・m³/s (He) まで計測可能 ・バックグラウンドを大幅に低減 ・超微小のヘリウムリークの検出が可能 ・誤差要因となるヘリウム以外のガスの影響を低減 ・ヒーターや極低温ポンプが不要になり、起動時間のメンテナンスが通常のヘリウムリークディテクタと同等 【当社の強み】 漏れ検出を追求して60年、漏れ検査（リークテスト）の未来型を追求します。各種漏れ試験に対応：エアリークテスト / ガスリークテスト（水素ガス ・ ヘリウムガス） 。気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売しています。ISO 9001認証取得。
価格帯
納期
型番・ブランド名
超微小漏れ ファインリークテスト 真空チャンバ法 ウルトラファインリークテスト カプセル蓄積法
用途／実績例
【検査対象例】 ■MEMS部品 （圧力センサ、加速度センサ、角速度センサ、赤外線イメージセンサ） ■電子部品 ■ハーメチックパッケージ ■水晶デバイス など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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取り扱い会社
【 各種漏れ試験に対応：エアリークテスト / ガスリークテスト（水素ガス ・ ヘリウムガス） 】 気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売しています 検査対象ごとに適切なテスター・装置をご提案いたします 【 対象業界と検査対象例 】 ・自動車業界：エンジン、FC部品、バルブ・配管、各種部品 ・電子部品業界：スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサ ・医薬品 / 食品 / 化粧品業界：ボトル容器、シリンジ、バイアル、点眼剤容器、ピロー包装、PTP包装 業界別に最適なリークテスターをご提案いたします 【 ISO認証 】JIS Q 9001:2015（ISO 9001:2015） 本社住所：東京都練馬区貫井三丁目１６番５号（〒176-0021） 電話番号：03-3577-1111（代表）