ハイウィン株式会社 公式サイト

高精度＆高剛性！　2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】

シングルアーム／ダブルアーム アーム長　135mm／185mm エンドエフェクターは真空吸着、把持、反転の各方式に対応。

高速・高精度・高剛性・高効率、そして省スペースを実現！ 2-12インチ対応の【HIWINウエハアライナー】

・2-12インチ対応のラインアップ ・最短4.9秒以内のウエハアライメントが可能 ・ウエハの中心や角度等の補正動作と同時に、繰返し精度±0.1ｍｍの実現が可能 ・クリーン度Class 1

各種自動化タスクに。ハイウィンのDDモーター

○ 詳細はカタログをご覧になるか、お問合せください。

■■位置決めステージ相談はHIWINへ■■様々な自動化ニーズに応用できる単軸位置決めリニアモーターステージのラインアップ

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■位置決めステージ相談はHIWINへ■クロス型・ガントリー型からエアベアリングなど、単軸～多軸位置決めステージを提供します

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高精度・短納期・優れたコストパフォーマンスを実現する、2軸リニアモーター位置決めステージ

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