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蒸気2流体洗浄ユニットは超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるために特殊な材料に表面コートを施し、高純度蒸気を発生させます。 【特長】 ■ブラシ等の消耗品がなく、ランニングコストを大幅に低減 ■使用するのは「純水」のみ ■化学薬品の使用量を大幅に削減 ■洗浄力を大幅に向上 ■半導体用洗浄にも使用 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい

【基本構成】 ○金属汚染のない蒸気発生装置 ○超音速蒸気噴射ノズル ○洗浄機本体との通信 【蒸気発生装置】 ○蒸気発生量：2～100kg/h 　※必要な蒸気量に対応するサイズをご用意 ○用力：DIW,N2,CDA,200VACまたは100VAC ○蒸気圧力制御範囲：0.05-0.3MPa ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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【用途】 ○太陽電池の基板洗浄 ○LED製造における金膜剥離 ○ガラス基板の洗浄等 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。