製品サービス
製品・サービス
-
蒸気洗浄装置(11)
エッチング後のポリマ除去ができる金属汚染のない「ASTE」をはじめ、「VALIUS」や、「BEUGA」などをご用意しています。
-
オゾン水洗浄装置(1)
イオン注入後のレジスト剥離が可能。残渣なし、下地膜（Si、SiO₂ など）を膜べりなしで剥離できます。硫酸過水、アンモニア過水等の薬液洗浄工程をなくすことで、ランニングコストおよび工程数を削除できます。